真空镀膜机用途及操作方法

　　真空镀膜机用途及操作方法，真空镀膜机是一种常用的镀膜机商品类型，首要指一类需求在较高真空度下进行的镀膜，详细包含许多品种，包含真空离子蒸腾，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射堆积等许多种。下面首要来介绍一下真空镀膜机电柜的操作方法，希望对大家有所帮助！

　　一、真空镀膜机电控柜操作方法

      1. 开水泵、气源。

      2. 开总电源。

      3. 开保持泵、真空计电源，真空计档方位V1方位，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。

      4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、发动，真空计开关换到V2方位，抽到小于2停止，约需20分钟。

      5. 查看涡轮分子泵读数抵达250以后，关予抽，开前机和高阀持续抽真空，抽真空抵达必定程度后才能开右边的高真空表头，调查真空度。真空抵达2×10-3今后才能开电子枪电源。

　　二、真空镀膜机操作方法

      1. 总电源。

      2. 一起开电子枪操控Ⅰ和电子枪操控Ⅱ电源：按电子枪操控Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及维护灯亮，三分钟后延时及维护灯灭，若后门未关好或水流继电器有毛病，维护灯会常亮。

      3. 开高压，高压会到达10KV以上，调理束流可到200mA摆布，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摇摆。

　　真空镀膜机关机次序

      1. 关高真空表头、关分子泵。

      2. 待分子泵显现到50时，顺次关高阀、前级、机械泵，这时期约需40分钟。

      3. 到50以下时，再关保持泵。